বৈশ্বিক সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া 3nm/2nm উন্নত নোডের দিকে অগ্রসর হওয়ার সাথে সাথে, নির্ভুল টাইটানিয়াম উপকরণ (ASTM B265/B348, গ্রেড 1/2/5 উচ্চ-বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম এবং টাইটানিয়াম অ্যালয়গুলি) "সহায়ক উপকরণ" থেকে মূল কৌশলগত উপকরণগুলিতে আপগ্রেড হচ্ছে, যেমন সেমিকন্ডাক্ট ম্যানুফ্যাকশনের সুবিধার জন্য। অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা, অতি-নিম্ন অমেধ্য, শক্তিশালী তাপীয় স্থিতিশীলতা, জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং অ{10}}চুম্বকীয় বৈশিষ্ট্য। বাজারের মনোযোগ এবং চাহিদা একযোগে বাড়ছে।
মূল ড্রাইভার: উন্নত প্রক্রিয়া উপাদান আপগ্রেড জোর করে
উন্নত সেমিকন্ডাক্টর প্রসেস (5nm এবং নীচে) উপকরণগুলির জন্য তিনটি প্রধান হার্ড কোর প্রয়োজনীয়তা প্রয়োজন: ন্যানোমিটার স্তরের নির্ভুলতা, পারমাণবিক স্তরের পরিচ্ছন্নতা এবং চরম পরিবেশগত স্থিতিশীলতা:
-উচ্চ বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম লক্ষ্য উপাদান (গ্রেড 1, বিশুদ্ধতা 99.999%/5N এর চেয়ে বড় বা সমান): PVD স্পুটারিং কোর উপাদান, তামার আন্তঃসংযোগ বাধা স্তরের জন্য ব্যবহৃত হয়, যোগাযোগ প্লাগ, সিলিকন ওয়েফারকে দূষিত করা থেকে তামার পরমাণুর প্রসারণ রোধ করতে এবং সম্পূর্ণ কার্যকারিতা হ্রাস করার জন্য সরাসরি উপযুক্ত 130-3nm প্রক্রিয়া।
-নির্ভুল কাঠামোগত উপাদান (গ্রেড 2/5): লিথোগ্রাফি মেশিন ওয়ার্কটেবল, এচিং মেশিন চেম্বার, ভ্যাকুয়াম ফ্ল্যাঞ্জ, ওয়েফার রোবোটিক আর্ম, ইত্যাদি, একটি নিম্ন তাপীয় সম্প্রসারণ সহগ (8.6 × 10 ⁻⁶/ডিগ্রী) এবং সর্বনিম্ন তাপমাত্রার ফ্লু 3c/1/1 ফর্মের মাত্র ন্যানোমিটার স্তরের অবস্থান নির্ভুলতা নিশ্চিত করা।
-জারা প্রতিরোধী উপাদান (গ্রেড 7): ধাতব বৃষ্টিপাত দূষণ ছাড়াই ভেজা এচিং এবং পরিষ্কারের সরঞ্জামগুলিতে শক্তিশালী অ্যাসিড/হ্যালোজেন ক্ষয় প্রতিরোধী, উচ্চ ভ্যাকুয়াম এবং শক্তিশালী প্লাজমা চরম কাজের অবস্থার জন্য উপযুক্ত।
আমেরিকান স্ট্যান্ডার্ড টাইটানিয়াম উপকরণের মূল সুবিধা
1. অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা+অতি-নিম্ন অমেধ্য: আমেরিকান স্ট্যান্ডার্ড গ্রেড 1 উচ্চ-নিয়ন্ত্রণযোগ্য অক্সিজেন/নাইট্রোজেন/কার্বন অমেধ্য সহ বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. তাপীয় স্থিতিশীলতা+মাত্রিক নির্ভুলতা: নিম্ন তাপ পরিবাহিতা (21.9W/(m · K)), তাপ সম্প্রসারণের ছোট সহগ, ± 0.005 মিমি পর্যন্ত সহনশীলতা, পৃষ্ঠের মসৃণতা Ra 0.4 μm এর কম বা সমান, ন্যানোস্কেল সমাবেশ এবং সমুদ্রের ভ্যাকুয়াম করার জন্য উপযুক্ত।
3. জারা প্রতিরোধক+অ-চুম্বকীয়+নিম্ন গ্যাস নির্গত: প্রাকৃতিক অক্সাইড স্তর স্ব-নিরাময়, Cl ₂/F ₂/শক্তিশালী অ্যাসিড ক্ষয় প্রতিরোধী; অ চৌম্বক এবং নির্ভুল সার্কিট সঙ্গে হস্তক্ষেপ অ; আল্ট্রা-হাই ভ্যাকুয়াম (UHV) এর অধীনে বায়ু প্রকাশের হার অত্যন্ত কম, যা চেম্বারের পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করে।
4. লাইটওয়েট এবং উচ্চ শক্তি: 4.51g/সেমি ³ (স্টেইনলেস স্টিলের চেয়ে 40% হালকা), গ্রেড 5 প্রসার্য শক্তি 930MPa এর চেয়ে বেশি বা সমান, নির্দিষ্ট শক্তি স্টেইনলেস স্টিলের দ্বিগুণ, উচ্চ -গতির চলমান অংশগুলির হালকা ওজনের প্রয়োজনীয়তার জন্য উপযুক্ত।
মূল অ্যাপ্লিকেশন পরিস্থিতি
-উচ্চ বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম টার্গেট ম্যাটেরিয়াল (গ্রেড 1): পিভিডি স্পুটারিং ডিপোজিশন, লজিক/স্টোরেজ চিপ ব্যারিয়ার লেয়ার এবং আঠালো স্তরের জন্য ব্যবহৃত, 2024 সালে বিশ্বব্যাপী বাজারের আকার 1.87 বিলিয়ন মার্কিন ডলার এবং 2026 থেকে 203 পর্যন্ত 9.3% CAGR।
-ভ্যাকুয়াম চেম্বার/ফ্ল্যাঞ্জ (গ্রেড 2): এচিং এবং ডিপোজিশন সরঞ্জামের জন্য ভ্যাকুয়াম সিস্টেম, উচ্চ চাপ প্রতিরোধী, কম গ্যাস রিলিজ এবং নির্ভরযোগ্য সিলিং।
-নির্ভুল রোবোটিক আর্ম/এন্ড ইফেক্টর (গ্রেড 5): ওয়েফার ট্রান্সফার, লাইটওয়েট এবং উচ্চ-শক্তি, সুনির্দিষ্ট পজিশনিং, এবং কোনও কণা ঝরানো নয়।
-জারা প্রতিরোধী আস্তরণ/ফিক্সচার (গ্রেড 7): ভেজা প্রক্রিয়া সরঞ্জাম, শক্তিশালী অ্যাসিড যেমন HF/HCl প্রতিরোধী, সরঞ্জামের আয়ু বাড়ায় এবং রক্ষণাবেক্ষণের খরচ কমায়।
বাজারের প্রবণতা: গার্হস্থ্য প্রতিস্থাপন + প্রযুক্তিগত অগ্রগতি
বিশ্বব্যাপী সেমিকন্ডাক্টর ক্ষমতার প্রসারণ (বিশেষ করে চীনা মেইনল্যান্ডে) নির্ভুল টাইটানিয়াম উপকরণের চাহিদার দ্রুত বৃদ্ধিকে চালিত করেছে। 2023 সালে, সেমিকন্ডাক্টরগুলির জন্য চীনের টাইটানিয়াম নির্ভুল অংশগুলির বাজারের আকার 3 বিলিয়ন ইউয়ান ছাড়িয়ে যাবে, যার বার্ষিক বৃদ্ধির হার 25% এর বেশি। আমেরিকান স্ট্যান্ডার্ড গ্রেড 1/2/5 নির্ভুল টাইটানিয়াম উপকরণ (0.05 মিমি আল্ট্রা-পাতলা টাইটানিয়াম ফয়েল, উচ্চ{10}}বিশুদ্ধতা লক্ষ্য উপকরণ এবং নির্ভুল স্ট্রাকচারাল উপাদান সহ) স্থিতিশীল ব্যাপক উত্পাদন অর্জন করা হয়েছে, সহনশীলতা এবং বিশুদ্ধতা আন্তর্জাতিক উন্নত স্তরে পৌঁছানোর সাথে অর্ধপরিবাহী শিল্পে নির্ভরশীলভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে সহায়তা করে।
উন্নত প্রক্রিয়া এবং ডুয়াল হুইল ড্রাইভের গার্হস্থ্য প্রতিস্থাপনের অধীনে, আমেরিকান মান পূরণ করে এমন নির্ভুল টাইটানিয়াম উপকরণগুলি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের আপগ্রেডিংয়ের মূল সমর্থন হয়ে উঠেছে। ভবিষ্যতে, তারা উচ্চতর বিশুদ্ধতা (6N), পাতলা স্পেসিফিকেশন (0.05 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান), এবং আরও সুনির্দিষ্ট মেশিনিং (± 0.002 মিমি) এর দিকে অগ্রসর হতে থাকবে।
একটি উদ্ধৃতি অনুরোধ
ইমেইল:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
